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鈦作為一種常用的PVD鍍膜靶材，其氮化物、碳氮化物和氧化物涂層廣泛應(yīng)用于工業(yè)和裝飾領(lǐng)域。
鈦氮化物（TiN）
顏色：金黃色
形成機(jī)理：在PVD過程中，鈦靶材與氮氣反應(yīng)生成TiN。氮氣在濺射過程中與鈦原子結(jié)合，形成具有高硬度和耐磨損性的氮化鈦薄膜。這種涂層的金黃色澤主要是由于TiN晶體結(jié)構(gòu)中的電子帶結(jié)構(gòu)對光的選擇性反射和吸收。
應(yīng)用：TiN涂層常用于切削工具、模具和裝飾性涂層。其金黃色不僅提升了美觀度，還增加了材料的耐磨性和抗腐蝕性。
鈦碳氮化物（TiCN）
顏色：玫瑰金
形成機(jī)理：通過在氮氣和甲烷（或乙炔）的混合氣氛中濺射鈦靶材，形成鈦碳氮化物（TiCN）涂層。TiCN的顏色主要由碳含量決定，增加碳含量會使涂層顏色從金黃色轉(zhuǎn)變?yōu)槊倒褰鸹蚣t色。
應(yīng)用：TiCN涂層因其硬度和抗磨損性能優(yōu)于TiN，廣泛應(yīng)用于高負(fù)荷切削工具和耐磨部件。
鈦氧化物（TiO?）
顏色：不同厚度產(chǎn)生的顏色變化（藍(lán)色、紫色等）
形成機(jī)理：在氧氣氣氛中進(jìn)行PVD鍍膜，形成鈦氧化物（TiO?）涂層。TiO?的顏色變化主要受薄膜厚度和光干涉效應(yīng)的影響。薄膜厚度越大，干涉效應(yīng)越明顯，顏色從藍(lán)色到紫色不等。
應(yīng)用：TiO?涂層常用于光學(xué)鍍膜和裝飾性涂層，提供抗反射和增強(qiáng)美觀的功能。
2. 鋯靶材
鋯作為高硬度和高耐腐蝕性的材料，其氮化物、碳氮化物和氧化物涂層在工業(yè)和裝飾應(yīng)用中同樣重要。
